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論文

Commissioning of surface chemistry end-station in BL23SU of SPring-8

寺岡 有殿; 吉越 章隆

Applied Surface Science, 169-170, p.738 - 741, 2001/01

https://doi.org/10.1016/S0169-4332(00)00779-0
 被引用回数：68 パーセンタイル：91.83(Chemistry, Physical)

SPring-8に建設された原研軟X線ビームラインBL23SUに設置される表面反応分析装置(エンドステーション)の設計及び基本的な性能について現状を報告する。本装置は主に表面反応分析室、表面構造分析室、ビームモニタ室、超音波分子線発生器から構成される。表面反応分析室では電子エネルギー分析と質量分析の予備実験結果を紹介する。表面構造分析室ではサンプルのクリーニングとその後の表面分析(LEED/AES)について述べる。ビームモニタ室については差動排気の達成度を報告する。超音速分子線発生器ではN$$_{2}$$及びO$$_{2}$$分子線を発生させ、差動排気の達成度や化学組成の質量分析結果を報告する。本報告では以上の基本的な性能が表面反応ダイナミクスの研究に不可欠であることを強調する。

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